核科学与工程

1982, (01) 87-93

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小型强流重离子源
MINIATURE HIGH CURRENT HEAVY ION SOURCE

林治洲;于敬文;李增谱;

摘要(Abstract):

<正> 一引言强流离子注入机已广泛应用到半导体工业、超精加工、金属表面掺杂及材料性能的研究上。强流重离子源是注入机上的重要部件,它对注入机的性能起着重要的作用, 我们对磁场下热阴极低压弧放电离子源进行了实验研究,获得较好的结果。

关键词(KeyWords):

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基金项目(Foundation):

作者(Authors): 林治洲;于敬文;李增谱;

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